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一种nm级超精密镜面磨削的微进给工作台

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一种ｎｍ级超精密镜面磨削的微进给工作台张飞虎，张春河，王平，韩荣久（哈尔滨工业大学）（中国科学院长春光学精密机械研究所）用超微细粒度的超硬磨料砂轮进行超精密镜面磨削加工，是对难以用金刚石车刀进行超精密车削的材料如工程陶瓷、光学玻璃、半导体基片等进行超...

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来源
《仪器仪表学报》 |1996年第s1期|388-388|共1页
作者
张飞虎; 张春河; 王平; 韩荣久;
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作者单位

哈尔滨工业大学;

中国科学院长春光学精密机械研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造用设备;
关键词
微进给; 镜面磨削; 超精密加工; 工作台; 超精密磨削; 超精密车削; 微量进给机构; 工程陶瓷; 金刚石车刀; 位置分辨率;

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