干涉仪环境振动的外差检测与自适应控制

吴栋; 朱日宏; 陈磊; 何勇; 姬会东

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干涉仪环境振动的外差检测与自适应控制

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测试环境的微振动干扰会引起干涉图的抖动,影响移相干涉仪的测量准确.设计了一种内嵌于移相干涉仪的外差测振光路,对干涉仪所受环境微振动进行实时检测;采用单片RF/IF集成芯片对两路40MHz的模拟外差信号直接进行比相,简化了通常使用的数字测相方法.在测得环境振动信息后,运用DSP技术和自适应信号处理的方法,实现了基于PZT移相器的自适应振动控制,实验结果表明干涉仪对幅频积不大于100waves·Hz的环境振动的抑制能力达-39dB.

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来源
《光子学报》 |2004年第12期|1493-1496|共4页
作者
吴栋; 朱日宏; 陈磊; 何勇; 姬会东;
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作者单位

南京理工大学电光学院;

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正文语种 chi
中图分类 TH744.3;
关键词
移相干涉仪; 环境振动; 外差测振; 相位检测; 自适应振动控制;

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