激光诱导的光热技术在半导体检测中的应用

摘要

综述了近些年来国内外半导体检测的光学技术研究的最新进展。重点阐述了基于光声光热效应的半导体检测技术的最新发展动态,其中分别对光热偏转(PTD)、光热调制反射(PMTR)、光热辐射(PTR)、光生载流子辐射(PCR)进行了详细介绍,最后提出了半导体检测技术的发展方向。