金属钽丝表面的X射线光电子能谱分析

摘要

用X射线光电子能谱(XPS)对金属钽丝表面进行了分析和研究。通过XPS全程宽扫描和窄扫描,分析了钽丝表面的元素成分和钽的化学态。分析结果表明,钽丝表面的元素成分为Ta,C,O,F,S,Cl,P,Fe,Si,Ni,Cr,Ti,Nb,W,Al。对溅射5 min前后的Ta 4f峰进行曲线拟合,分别得到2个Ta峰和4个Ta峰,对拟合后各个Ta峰的相对位置进行分析,可以得出以上各个Ta峰的化学态;钽丝表面钽的化学态分别为,溅射前Ta2O5和Ta5Si3,溅射后Ta,Ta2O5,Ta5Si3。