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汪建业; 余吟山;
中科院安徽光机所;
准分子激光器; 放电激励电路; 大功率;
机译:放电宽度和气体密度降低对半导体曝光设备的ArF准分子激光器高重复辉光放电的影响
机译:电子束维持放电受激准分子激光器的放电收缩,光解离和电离不稳定性
机译:248 nm准分子激光器在印刷电路板上精细电路线的激光结构化中的可行性
机译:长脉冲大功率KrCl准分子激光器的三电极放电系统
机译:可调谐大功率准分子激光器的研究。
机译:一种用于大功率线性偏振拉曼光纤激光器的新型大功率全光纤柔性光谱滤波器
机译:用于大功率准分子激光器的同轴电子束激励系统
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机译:气体激光器,特别是准分子激光器的激励电路的脉冲发生网络
机译:准分子激光装置的放电激励电路
机译:放电激励气体激光器的放电电路
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