基于二极管泵浦Nd：YAG激光器的紫外微加工系统研制

摘要

自行研制紫外微加工系统,系统有效工作范围120 mm×120 mm,最小加工线宽80μm,系统操作简单、运行稳定高效。实验中完成对Nd:YAG紫外激光器、XY扫描振镜以及F-Theta平场透镜设计。实现波长355 nm紫外激光最高平均功率2.13W稳定输出,1h内输出功率波动小于7%;XY振镜最大扫描角度±28°,线性响应速度0.35～0.5 ms;F-Theta视场角为±25°,有效焦距为250 mm。最后对系统存在的问题进行了分析。