薄膜透气性测试装置3层密封结构的研究

摘要

基于压差法的薄膜透气性测试装置,在压力和温度检测器的检测性能给定和环境温度相对稳定的情况下,影响测试结果的主要因素是测试装置的密封性能。为了同时提高测试装置的密封性能和测试精度,提出了3层密封结构设计的模型,建立了相应的数学模型,并给出了因泄漏而引起压强变化的特性和仿真结果。为3层密封结构薄膜透气性测试装置的实际应用提供了理论依据。