短距无线RF-MEM S前端演示模块研究

摘要

通过对短距无线RF前端演示模块的研究,概括了以M EM S器件为基础的下一代RF-M EM S系统的具体技术指标,并展示了其技术可行性,讨论了RF-M EM S器件的现行状况和发展。