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微面形貌观测物镜的光学系统误差分析

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摘要

提出了一种非接触内窥式微面形貌探测镜,分析了其光学系统的装配误差对实际成像位置的影响.利用几何光学原理,计算了三种装配误差与实际成像位移之间的关系.给出了满足CCD成像分辨率要求的位置调整范围,推导出透镜的装配误差范围,达到成像清晰、系统分辨率高的目的.

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来源
《光子学报》 |2009年第11期|2989-2992|共4页
作者
宋霄; 刘娜; 井文才; 贾大功; 张红霞; 张以谟;
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作者单位

天津大学精密仪器与光电子工程学院;

天津大学光电信息技术科学教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类显微镜;
关键词
微面形貌观测物镜; 光学系统; 装配误差; 分辨率;

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