微/纳米尺度构件力学性能测试技术研究

摘要

微纳米尺度构件作为微纳米机电系统的重要组成部分,其力学性能是设计、制造微纳米机电系统的重要参数,对微纳米机电系统的使用性能、可靠性、服役寿命等均会产生显著的影响。由于受到量子效应、尺度效应、表面效应的影响,传统的测试技术已无法满足需要。结合国内外微纳米尺度构件力学性能测试的最新动态,介绍了纳米压入法、鼓泡法、微拉伸法、微梁弯曲法等测试方法的机理、应用及存在的主要问题。最后指出了微尺度力学性能测试的发展方向。