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信息功能薄膜器件

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本文介绍了铁电存储器的特性 ,提出了信息功能薄膜的几种主要的制备方法 ,指出了它的应用领域。

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来源
《仪器仪表学报》 |2001年第z1期|436-437|共3页
作者
张之圣; 李晓云; 陈金亭;
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作者单位

天津大学电子信息工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体技术 ;
关键词
信息功能薄膜; 铁电存储器; 制备方法;

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