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聂君兰; 谷坤明; 汤皎宁; 麦达宇; 樊璠;
深圳大学材料科学与工程学院深圳市特种功能材料重点实验室;
Me-DLC膜; ECR溅射镀膜; 磁控溅射; 气源流量;
机译:气源对微波等离子体增强化学气相沉积法制备纳米晶金刚石膜沉积的影响
机译:通过热线化学气相沉积在各种氢气流量下制备的氢化非晶碳化硅膜的性能
机译:对“ $ hbox {O} _ {2} $流量对$ hbox {MgO} _ {x} $膜的结构和性能的影响的校正”,该膜由阴极-真空-电弧离子Dep制备
机译:碳化条件对聚酰亚胺中空纤维膜制备的碳膜气渗透性能的影响
机译:改善Gifford-McMahon和有源磁蓄冷式制冷机的制冷和天然气液化性能:流量分布不均,不平衡和不对称性的研究。
机译:化学气相沉积制备的微孔聚合物膜的选择性封闭性能
机译:表面活性剂对气溶胶辅助化学气相沉积的单源前体制备的益源膜形态的影响
机译:源气化学对类金刚石碳221膜摩擦学性能的影响
机译:气相沉积源,气相沉积设备和用于制备气相沉积膜的方法
机译:气相沉积源,气相沉积设备和制备气相沉积膜的方法
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