共平面低功耗CO气体传感器的设计及制作

摘要

设计了一种新型的共平面微结构气体传感器,利用MEMS技术制作了传感器样品。实验测得该传感器对于体积分数为50×10-6CO气体的灵敏度为8.6(R0/R),功耗为82mW,响应时间约5s,恢复时间约22s,该传感器的灵敏度是同种敏感材料烧结型传感器(测体积分数50×10-6CO气体)的2.5倍,而功耗却是同种敏感材料烧结型传感器的1/2,是一种具备了体积小、重量轻、功耗低、灵敏度高、便于与其它器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低的微结构CO气体传感器。