一种新型高精度平面度图像测量系统

摘要

介绍了一种新型的基于平面等倾干涉原理的高精度平面度测量系统。系统利用等倾干涉原理,通过CCD提取干涉条纹信息,根据干涉条纹在窗口尺坐标上的位置,并联系相邻测量点干涉条纹方向以确定干涉条纹在被检测平面上的变化量N;借以得到既能反映出半波长整数倍,又能反映半波长小数倍的平面度误差。