有机/无机杂化SiO_2/Si光波导薄膜的制备及表征

摘要

采用有机/无机杂化溶胶-凝胶(sol-gel)法制备了SiO2光波导薄膜材料。采用甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷(MAPTMS)作为反应先躯体,四丙氧基锆(ZPO)作为调节折射率的材料,正丙醇(n-propyl alcohol)为溶剂,利用旋涂方法在Si基片上成膜,采取低温长时间、高温短时间的热处理方式,制备出无龟裂薄膜。分别采用棱镜耦合仪和原子力显微镜(AFM)研究了不同溶剂量和不同ZPO量情况下,薄膜的折射率、厚度以及表面形貌变化情况。研究结果表明:通过调节正丙醇的用量,可以实现薄膜厚度可控;通过调节ZPO的用量,可以实现薄膜折射率可控;薄膜的表面平整度非常好,在5μm×5μm的扫描范围内,表面粗糙度小于0.430 nm,表面起伏度小于0.656 nm。