基于压电陶瓷的平面阵列式压力传感器研究

摘要

利用压电陶瓷技术,设计并制备整体式多阵列压力传感器,并用于爆炸冲击波压应力的测试。结果表明,阵列传感器可测试爆炸冲击波的压应力及其分布、体密度分布、面密度分布等参数,其静态电容分布偏差小于±1%,压电常数d33分布偏差小于±3.3%,动态响应频率约为2.3MHz,冲击破坏阈值为100MPa量级。