共焦显微镜扫描工作台的系统建模与动态分析

摘要

共焦显微镜扫描工作台动态模型是研究控制系统的重要依据,它直接影响工作台的重复定位精度。提出了将机械部分和电气部分分开建模的方法,建立了系统数学模型,该方法具有较好的可移植性,建模过程简单,有利于分析系统各环节对系统控制性能的影响。在MAT-LAB/Simulink下进行仿真,2s内系统达到了稳定状态,证明了系统具有很好的动态特性,满足控制的要求。