多通道石英微天平振动耦合分析

摘要

应用明德林的二维压电板理论,用有限元方法求解并分析了两圆形石英晶体微天平(MQCM)的设计参数对频率耦合的影响。通过选取合适的尺寸设计参数,可有效地使两圆形石英晶体微天平(QCM)的耦合减少到最小,指出振动耦合现象的产生是由一谐振元的基模能与另一谐振元的泛音模发生强烈耦合引起的;提出了优化设计MQCM的建议。