纳米级步距压电电动机的精密驱动电源

摘要

介绍了一种基于尺蠖运动原理的纳米级步距压电电动机，提出了一种新型的压电陶瓷驱动电源，并给出了详细的电路原理图。对压电陶瓷进行的动态驱动实验表明，在输入三角波、方波、正弦波等动态信号时，该驱动电源可以很好地跟随输入波形的变化，实现了输入电压为0～5V时，输出电压在0～200V内连续可调，具有40mV的高分辨率和较为理想的静特性。纹波电压小于±10mV，电源在100kHz范围内具有良好的频响特性。