增量位移集成光电传感器设计

摘要

为了提高处理增量位移信息的集成光电传感器输出信号的有效精度,降低输出阻抗,以保证光电传感器的性能。基于0.35μm CMOS工艺,采用Cadence设计了1款用于处理增量位移信号的光电传感器,并对关键参数进行了理论推导以及验证。实验结果表明,该光电传感器输出信号有效精度优于10 bit,输出阻抗低于5Ω,各项性能指标均符合行业标准,并且能够稳定地运行。