磁流变平整加工中平动对平整度的影响

摘要

为改善平整度,提出在磁流变平整加工中加入平动。建立工件在磁流变硬化研抛工具上的运动轨迹方程,以该轨迹方程为基础建立了材料去除量的数学模型,对材料去除量分布作了仿真分析,探讨了轨迹规划、平动行程及平动速率等加工参数对平整度的影响;并进行了研抛试验。结果表明:工件沿磁轭的宽度方向单向平动,对平整度的改善最为显著,且平整度随平动行程增加而大幅降低,而平动速率对平整度的影响较弱。利用平动方式的磁流变平整加工方法研抛K9光学玻璃可获得微米级面形精度的超光滑平面。