一种高精度多功能双用原子力显微镜技术及应用

摘要

主要研究了一种基于高精度IPC-205B型扫描隧道显微镜(STM)的新型高精度多功能双用原子力显微镜(AFM)技术及其应用。阐述该原子力显微镜的工作原理、组成及应用,详细介绍了该AFM镜体的独特结构和新型微悬臂的制作及其检测方法。该AFM采用简单适用的新型微悬臂。并利用STM检测微悬臂的起伏,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描,有效提高了扫描精度,扩大了扫描范围。该机型集AFM和STM功能为一体,其中STM可以单独使用。该机型检测精度可达:横向0.1 nm,纵向0.01 nm。并用该样机进行了样品表面形貌和隧道谱的实验研究。