退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
吴子景; 吴晓京; 卢茜; Shen Weidian; 蒋宾;
复旦大学材料科学系;
上海200433;
复旦大学微纳电子平台;
Department of Physics and Astronomy;
Eastern Michigan University;
Ypsilanti MI 48197;
上海集成电路研发中心;
上海201203;
Cu/Ta薄膜; 纳米压痕; 分层;
机译:纳米压痕和纳米划痕试验评估Cu / Ta /黑金刚石/ Si薄膜堆叠结构的界面粘附
机译:Cu / Ta / SiO_2 / Si多层体系的纳米压痕研究
机译:残余应力对通过纳米压痕技术确定SiO2 / Si衬底上W薄膜沉积物的杨氏模量的影响
机译:纳米结构的Ta-Si-N薄膜作为Cu和SiO_2之间的扩散阻挡层
机译:多晶硅和SiO2薄膜的非Prestonian RRs和残余应力对各种类型的SiO2和Si 3N4薄膜的RRs的影响。
机译:阴极发光和截面透射电镜研究Berkovich纳米压痕下GaN薄膜的形变行为
机译:si(1 0 0)上5-80 nm ta-C薄膜的纳米划痕,纳米压痕和微动测试
机译:al-Cu-Li-X合金分层裂纹的微观组织和纳米压痕研究
机译:基于Cu-Ni-Si的铜合金板,镀薄的Cu-Ni-Si-Si基铜合金板,以及Cu-Ni-Si基铜合金板的制备方法和薄膜镀铜Cu-Ni-Si基 铜合金板
机译:在高温下以BCl3为基的刻蚀化学腐蚀对Si3N4具有高选择性的SiO2以及腐蚀对SiO2具有高选择性的金属氧化物
机译:利用Si的SiO2定向薄层定向向下压降Si上Ge的脱错纳米异戊烯环氧。
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。