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半导体工业中的化学气体

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摘要

近年来半导体工业的飞速发展,推动了各个产业部门的技术进步.同时它又是各种高新技术综合发展的结果,特别是依赖于高纯水、高纯气、高纯试剂和洁净技术的发展.半导体工业中使用的化学试剂品种相对较少,而高纯水制备技术已基本成熟,所以本文重点介绍化学气体方面的情况.

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来源
《半导体技术》 |1993年第4期|30-32|共3页
作者
刘光会;
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作者单位

西南化工研究院;

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正文语种 chi
中图分类半导体技术;
关键词
半导体工业; 化学气体; 纯水;

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