放电等离子烧结氮化铝透明陶瓷的研究

摘要

采用放电等离子烧结 (sparkplasmasintering ,SPS)技术烧结氮化铝 ,在不加任何添加剂的条件下 ,180 0℃ ,4～ 2 0min烧结制备了透明的氮化铝陶瓷。XRD ,SEM ,EPMA和TEM等测试结果表明 ,制备出的氮化铝陶瓷纯度较高、晶粒细小、结构均匀 ,具有良好的透光性能 ,充分说明SPS技术可应用于透明陶瓷的制备。与此同时 ,测试结果显示 ,AlN陶瓷中还含有少量的缺陷 ,包括位错、层错、气孔、第二相包裹体 。