激光束与半导体材料相互作用机理的研究

摘要

讨论了半导体材料四种类型的激光吸收机理,着重研讨了半导体材料激光微细加工中常用的低强度激光辐照下材料表面的光能吸收机制。介绍了一种有效的实验研究方法。