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弱导波导多模干涉耦合器结构参量优化设计

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摘要

本文分析了以硅基底上二氧化硅波导为代表的弱导波导多模干涉 (MMI)耦合器件输入 (出 )波导位置及宽度和 MMI长度等结构参量对器件性能的影响 .提出了参量空间法 ,在给定工艺材料参量和多模波导宽度情况下 ,通过匹配各结构参量 ,制出均匀性好、附加损耗低的弱导波导多模干涉耦合器件 .

著录项

来源
《光子学报》 |2002年第3期|354-359|共6页
作者
王谦; 何赛灵; 黄耐容; 殷源;
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作者单位

浙江大学光电系现代光学仪器国家重点实验室光与电磁波研究中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类耦合器、定向耦合器;
关键词
多模波导干涉耦合器; 模式传输分析; 自成象理论; 结构参量; 优化设计;

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