一种适用于微操作的驱动技术

摘要

随着微机电系统 (MicroElectro -MechanicalSystems ,MEMS)研究的日渐发展 ,灵活、稳定的微操作器作为微机电系统的一项基础研究 ,其重要性也越来越显示出来。从装配的微操作出发 ,介绍了微操作的基本概念 ,对应用于微操作的压电驱动技术的原理、特点、现状及研究热点进行了详尽的阐述 。