基于概率有限元法的准LIGA齿轮系统研究

摘要

以一对LIGA法加工的微小齿轮啮合系统为研究对象,基于概率有限元分析方法,建立了齿轮啮合的概率有限元模型,通过与赫兹接触理论计算结果的比较,验证了有限元模型的准确性;研究材料特性参数和所受载荷为正态随机分布时,以上随机参数对微小齿轮系统的运行性能的影响。通过研究保证了该系统运行的可靠性,为该系统的加工制造和热处理工艺提供了参考依据。