MOCVD化合物半导体材料及其应用

摘要

总结了我国在ＭＯＣＶＤ化合物半导体材料方面的最新进展，重点为ＭＯＣＶＤ化学、ⅢⅤ族和ⅡⅥ族半导体材料及其在光电和微波器件中的应用。为进一步发展我国的ＭＯＣＶＤ材料提出了若干建议。