傅里叶变换条纹相位分析法测量非球面镜

摘要

本文将傅里叶变换（ＦＦＴ）条纹位相测量方法用于非球面镜的检测．叙述了波面位相偏差测量原理．提出用最小二乘拟合波象差代替计算全息图（ＣＧＨ）补偿非球面波象差，并分析了测量误差．