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内置式微型电液动力泵的研究

         

摘要

本文介绍了一种新型电子冷却技术—微型电液动力泵的工作原理,并且运用了MEMS技术,在硅片上加工了梳状电极形式的微型电液动力泵.采用直流电压驱动对HFE7100进行了相关实验研究,取得良好效果.

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