纳米级正弦振动幅相特性测量技术的研究

摘要

概述外差激光干涉测量技术的基本原理和特点 ,针对马赫—泽德外差式激光干涉仪在绝对法振动校准技术中的应用 ,介绍测量系统的构架以及完成数据采集和信号处理的虚拟仪器技术。详细介绍了测量系统频移变换部分和数字信号处理部分的组成原理和技术实现 ,论述了其中数据采集、数字解调、曲线拟合等技术难点。本文描述的这种振动测量技术运用正弦逼近的信号处理方法 。