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Daikin准备选用COF2作为室内清洁气体

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据日本方面报道，Daikin Industrial公司计划在Osaka县Yodogawa工厂建造一个工业规模的COF，生产装置。用在半导体化学气体沉积室(CVD)清洁设备上的这种气体已被证明是一种有很大潜力的替代物，它可用于替代现在使用的NF3和高氟化碳．

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来源
《化学推进剂与高分子材料》 |2005年第1期|13-13|共1页
作者
于剑昆;
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作者单位

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正文语种 chi
中图分类废气的处理与利用 ; 大气污染化学 ;
关键词
DaikinIndustrial公司; COF2; 室内清洁气体; 氟碳化合物;

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