高质量2/3英寸 Sb_2S_3摄象管靶的研究

摘要

本文讨论了用旋转工件蒸发法制作高质量2/3″Sb_2S_3摄象管靶中遇到的一些问题及其工艺上的解决方法。诸如:气流旋转对膜均匀性的影响,灵敏度与惰性的矛盾及兼顾,恰当工作靶压之获得等。