液体喷射抛光技术研究

摘要

液体喷射抛光(FJP)技术是近几年提出的一种新型光学抛光工艺,本文简介了这种抛光技术的原理,介绍了我们的研究结果,其中包括在抛光机理方面提出抛光液中磨料粒子的径向流动对工件产生的径向磨削剪切作用是材料去除的关键;建立了较完善的描述FJP过程的数学模型;提出了获得较理想工作函数的方法;得到了求解时间驻留函数的一种算法;另外还研究了不同FJP溶液及一些工艺参数对样品表面粗糙度的影响、被抛光材料特性对材料去除率及表面粗糙度的影响等。结合这些研究建立了一套非球面数控液体喷射抛光设备和相关工艺,并利用其对实际非球面做了数控抛光实验,最后得到其截面的误差优于0.15μmPV,表面粗糙度Ra达到2.25nm,实验结果表明此技术可用于非球面的数控抛光。