铀表面钛镀层原位氧化行为的AES和EELS研究

摘要

利用铀的电子能量损失谱(EELS)、俄歇电子能谱(AES)原位,研究了在室温下O2气氛中表面Ti膜初始氧化过程中表面结构的变化。结果表明,Ti膜的氧化速度比金属Ti更快;Ti膜氧化时与金属Ti一样可形成Ti(固溶O)、TiO、Ti2O3、TiO2,氧化物以岛状形式生长,并以多种氧化态并存;其氧化过程为Ti→Ti(固溶O)→TiO→Ti2O3→TiO2。