硅在压力传感器中的应用

摘要

称为硅膜片器件的新型压力传感器,对工业生产过程的测试带来新的途径。这种器件的精确性、可靠性都很高,价格也低廉。 硅膜片传感器售价低廉的原因是其制备过程和所用设备都与集成电路的制备相结合。就集成电路而言,硅膜片传感器能提供同样规模的经济效益。