衍射光栅刻划机分度误差的实时测量

摘要

本文提出了对光栅分度误差进行实时测量的方法,阐述了此方法的原理和实现过程。对测得数据,根据stroke理论分析了分度误差对光栅谱线产生的影响。实践证明,用此方法得到的谱线轮廓与用光谱法测得的谱线基本一致。