光探测与器件

摘要

TN23 2001042775硅浅结紫外光探测器的研究=Research on silicon shallowjunction UV detectors[刊,中]/陈武,王勇,王水弟,单一林(清华大学微电子学研究所.北京(100084)),MikkoMatikkala(芬兰探测技术公司.芬兰)//半导体光电.-2000,21(3).-203-205采用低能离子注入法在Si材料上制作了浅结构紫外光(UV)探测器,介绍了探测器的结构设计、工艺制作以及主要测量结果。实验证明。