SmCo5和Sm（0.5）MM（0.5）Co5非晶薄膜的研究

摘要

采用直流二极溅射方法制备SmCo5和Sm0.5MM0.5Co5非晶薄膜。用X光和电子衍射方法对非晶薄膜晶化过程进行了研究。在550℃时有明显的β-Co相析出,一直到750℃仍只有两条β-Co线条和原有的漫散宽带,形不成金属间化合物相。与文献中厚膜不同,这可能与薄膜具有较大的表面能,影响了晶化过程有关。磁秤、振动样品磁强计、霍尔电势和磁转矩测量表明,这些非晶薄膜是软磁性的,具有平行膜面的磁各向异性。晶化热处理后,磁化强度有很大提高,但仍然没有强的永磁性,这与薄膜形不成金属间化合物相的结构分析结果相一致。