矩形反应管实验小结

摘要

＜正＞ 我车间试用外延矩形反应管工作已结束。在试验过程中迂到一些问题,经过若干次摸索试验有的问题已得到解决,有的处在探索和研究阶段。本文就是对此试验工作的小结。 一、气体流动的模型 圆形外延管与矩形外延管,其反应室的几何形状是不同的,气体流经两外延反应管的模型也是不同的。气体以旋转方向流经圆管,管子中间部位的气体线速度比周围的要大些。气体以接近直线方向流经方管,对矩形管来讲,截面积的线速度比圆管要大得多,中间与四周的气体线速度几乎相等,这就使得生长外延片的横向厚度均匀。在实践中也证实此道理,在石墨的外表面生长碳化硅膜时,可看到气体在两种不同几何形状的管子里流经的轨迹。见图1、2所示。