PD照相法

摘要

本文叙述一种新型照相法——“PD”照相法,在我们研制工作中,采用的光敏材料是4-二甲氨基-3.5-二氯苯重氮特丁基硫化物,载体为聚乙稀醇（PVA）,基片为通用的1.5～2毫米厚的制版玻璃。采用紫外曝光,并经高速稳定的物理显影液处理,已复印出条宽为1微米的光掩模,经光刻试验,基本上达到实用。