超微粒干版试验情况简介

摘要

＜正＞ 高分辨率、快速、高清洁度的超微粒干版已成了大规模集成电路会战中关键的基础材料之一。在北京市大规模集成电路会战办公室的领导下,北京市从74年7月份组成超微粒干版会战攻关小组,在会战单位清华大学、地质仪器厂、771所,中国科学院半导体所及北京制版炼油厂等单位大力帮助下,二年来在乳剂实验、工艺控制及创造生产条件等方面都分别做了一些工作,现将这些工作简单介绍如下。