首页> 中文期刊> 《半导体技术》 >氢氟酸与氮化硼源扩散

氢氟酸与氮化硼源扩散

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

团队文献服务 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文叙述的是我们在TTL数字集成电路的浓硼隔离扩散时,硅片上产生的一种“白雾”现象的实验结果,并对产生“白雾” 的成因机理进行探讨,最后提出了解决“白雾”的工艺方法.

著录项

来源
《半导体技术》 |1980年第2期|23-30|共8页
作者
林鹤;
展开▼
作者单位

杭州无线电二厂;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 关于氢氟酸构成重大危险源临界量的讨论 [J] . 周慧敏 ,周宇飞 ,李宗奇 . 化工安全与环境 . 2020 ,第50期
2. 氢氟酸烷基化分馏系统危险源评价 [J] . 李壮 ,刘多林 ,易志勇 . 吉林化工学院学报 . 2017 ,第3期
3. 氢氟酸储罐最大可信事故源项分析 [J] . 朱强 . 包钢科技 . 2015 ,第4期
4. 化学气相沉积法制备氮化硼纳米管的研究进展:反应装置、气源材料、催化剂 [J] . 龙晓阳 ,俄松峰 ,李朝威 . 材料导报 . 2017 ,第19期
5. 基于点源连续扩散高斯混合模型的LNG泄漏扩散研究 [J] . 焦晓丽 ,王岳 ,韦雪蕾 . 辽宁石油化工大学学报 . 2019 ,第4期
6. 复合样品闪光法测量半透明氮化硼材料的热扩散率 [C] . 王恒 . ’９４秋季中国材料研讨会 . 1994
7. 氮化硼纳米管的气体吸附和扩散性能的分子模拟研究 [A] . 杨艳帅 . 2016

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号