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高纯氢中微量杂质氧的气相色谱分析

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本文报导采用气相色谱变温浓缩取样的方法,分析了高纯氢中的微量氧.其测量灵敏度可达O.1ppm数量级.并在实际应用中证明,这种分析方法比较简单,重复性好,对改进监测半导体材料的制备会起到有益的作用.

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来源
《半导体技术》 |1987年第5期|59-62|共4页
作者
张英兰; 刘宝成; 戴国瑞;
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作者单位

长春物理研究所;

长春物理研究所;

吉林大学电子科学系;

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