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网格结构紫外-可见-近红外光敏三极管

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本文提出了一种网格基区紫外-可见-近红外光敏三极管结构,网格条区为浅pn结,网孔区为表面耗尽区,这是一种提高硅光敏管紫外光响应的有效结构.实验测量表明网格基区光敏三极管是一种宽光谱高灵敏光敏三极管.

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来源
《半导体技术》 |1988年第1期|42-45|共4页
作者
尹长松;
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作者单位

武汉大学物理系;

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