改进的铝合金化工艺

摘要

本文提出了一种改进的铝合金化新工艺.该工艺是将一次铝合金化后的硅片表面层用磷酸腐蚀后,经去离子水彻底清洗,然后进行二次蒸铝及合金化.经此工艺处理后,可改善铝层表面小丘状态,提高粘附性,改善其抗电迁移性能.此法工艺简单,成本低.