静电消除器的原理及校准方法研究

摘要

在电子工业中,电子元器件越来越小型化、集成化,其本身存在静电敏感结构且各种高分子材料越来越被广泛应用,所以静电防护是一个非常重要不可回避的问题。在防静电材料和设施中,以离子风机为代表的静电消除器在工业中的应用越来越普遍,文章围绕静电消除器对其工作原理、校准用仪器及校准方法作简要的分析研究,为静电消除器的校准和工厂的静电防护提供一定的技术支撑。