六氟化硫生产及应用中低氟化物的生成机理和消除方法

摘要

分析了六氟化硫生产和应用中氟硫化合物、氟氧化合物等低氟化物的生成机理和物化性质,并探讨了高温裂解、水洗、碱洗和吸附等消除低氟化物的方法。